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一种等离子体损伤检测结构及其检测方法，其中等离子体损伤检测结构包括：第一参考NMOS晶体管；第一阈值电压检测单元，用于检测第一参考NMOS晶体管的阈值电压，并输出检测的第一参考NMOS晶体管的阈值电压；第一测试NMOS晶体管；天线，所述天线...
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