下载差压式气动执行器装置的技术资料

文档序号:10545719

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本发明公开了一种差压式气动执行器装置,包括壳体,壳体内设置有密闭且相邻的两个膜片室,其中一个膜片室内安装有可轴向移动的芯杆,两个膜片室的容积可在分别进入具有压差的气体的作用下收缩或增大用以驱动芯杆轴向移动,工作时,气体分别从上膜片室气嘴进入...
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