下载混合型光学积分器组件及其光学系统的技术资料

文档序号:10543676

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本实用新型涉及一种混合型光学积分器组件及其光学系统,其包括光学积分器,其中,还包括设于光学积分器任一横截面上的对所穿过的光束进行散射处理的散射件。本实用新型能在满足一定照射均匀度的前提下,缩小光学积分器的处理路径,使得光学积分器的尺寸更小;...
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