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除其他情况之外，本文档讨论了惯性传感器，其包括在器件层的x-y平面中形成的单个质量块，所述单个质量块包括单个中心锚，所述单个中心锚被配置为使所述单个质量块悬吊在通孔晶片上方。所述惯性传感器还包括在所述惯性传感器相应的第一侧和第二侧上的所述器...
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