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本发明公开了一种静电夹盘，包括嵌有电极的绝缘层，用于承载半导体晶片，所述绝缘层具有主体部及沿主体部侧壁水平向外延伸的环形凸缘；底座，位于所述绝缘层下方；结合层，位于所述绝缘层和所述底座之间，用于粘结所述绝缘层和所述底座，其中，所述环形凸缘超...
该专利属于中微半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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