下载等离子体处理装置及其静电夹盘的技术资料

文档序号:10531177

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本发明公开了一种静电夹盘,包括嵌有电极的绝缘层,用于承载半导体晶片,所述绝缘层具有主体部及沿主体部侧壁水平向外延伸的环形凸缘;底座,位于所述绝缘层下方;结合层,位于所述绝缘层和所述底座之间,用于粘结所述绝缘层和所述底座,其中,所述环形凸缘超...
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