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压电致动器器件和其制造方法技术
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文档序号:10525343
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压电致动器器件具备:振动部、和构成为使振动部振动的驱动部。振动部具有:振动的下部振动层、和与下部振动层的上表面结合且与下部振动层一起振动的上部振动层。驱动部具有:设于下部振动层的下表面的上部电极层、设于上部电极层的下表面的压电体层、和设于压...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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