下载一种高灵敏度叠层式挠曲电压力传感器的技术资料

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一种高灵敏度叠层式挠曲电压力传感器,包括测量微压力引起机械变形的金属弹性元件,在其顶部粘贴有多层挠曲电介电薄膜,挠曲电介电薄膜上下表面分别设有上金属电极和下金属电极,上金属电极和下金属电极之间通过绝缘层隔开,挠曲电介电薄膜的上金属电极和下金...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。

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