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本发明涉及一种包括离子注入层，例如阳离子注入层，的基板，其中，所述离子注入层的注入离子在比之前可能的深度明显更大的深度均匀分布。本发明还包括所述基板，其中所述基板是硅基基板，比如玻璃。本发明也可以包括将所述材料用作波导和/或将所述材料用于测...
该专利属于利兹大学所有，仅供学习研究参考，未经过利兹大学授权不得商用。

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