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在MEMS器件(1)中，第一驱动部(40)被分割成第一驱动部分(41)和第二驱动部分(42)。第二驱动部(50)被分割成第三驱动部分(51)和第四驱动部分(52)。通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别相互独立地...
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