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一种可将烧结后的硅片迅速有效的冷却降温至其最佳检测温度范围的冷却装置，包括外壳，外壳内部中空，外壳由竖向段和凸出于竖向段且从上部与竖向段连通的横向段组成；外壳的底部设有冷凝水出口，下部设有进气口，外壳上还设有排气口，排气口位于外壳横向段的底...
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