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真空下的微芯片制造技术
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文档序号:10499588
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本发明提供一种微芯片,并且该微芯片被配置为包含用于分析的试样溶液。该微芯片包括:流道,被维持在低于大气压的压力水平,以允许该试样溶液通过流道流动;以及压力指示部,被配置检测压力水平的变化。还提供了一种微芯片装置和制造微芯片的方法。...
该专利属于索尼公司所有,仅供学习研究参考,未经过索尼公司授权不得商用。
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