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重载荷柔性支撑装置制造方法及图纸
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下载重载荷柔性支撑装置的技术资料
文档序号:10497928
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本发明公开了一种重载荷柔性支撑装置,包括三组柔性机构,三组柔性机构支撑物镜并呈等腰三角形布置在主基板上。柔性机构包括:顶部横梁和两条侧面竖梁,顶部横梁的两端分别与对称设置的两侧面竖梁相连;顶部横梁上分别设有至少一组中心轴为Y向的第一柔性铰链...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。
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