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本发明公开了一种物镜框架连接件，包括：柔性底座、柔性盖板、双头螺栓以及蝶形弹簧组，柔性底座与柔性盖板通过双头螺栓相连，且柔性底座和柔性盖板分别与物镜框架固定连接，蝶形弹簧组固定在双头螺栓上。由于双头螺栓、柔性底座和柔性盖板都可以快速拆卸和安...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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