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本发明提供一种振动片及其制造方法，所述振动片具有较高的检测灵敏度。振动片具有第一振动模式和第二振动模式，其中，所述第一振动模式为，使第一检测部以及第二检测部以与根据科里奥利力而彼此向相反的方向进行振动的第一驱动部以及第二驱动部相反的相位、且...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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