下载CMOS图像传感器及其制造方法的技术资料

文档序号:10489663

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本发明公开了一种CMOS图像传感器及其制造方法。在所述光电二极管区形成锗浓度渐变的硅锗层,从而提高了光学生成效率,在较弱的光下也容易激发出电流,提高了CMOS图像传感器的使用效率。...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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