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本发明涉及一种具有宽谱域光透过特性和陨石坑绒面直接生长的ZnO:Li透明导电薄膜的制备方法及其制得产品，本发明采用磁控溅射方法，利用Li原子的高温易挥发特性，通过控制溅射沉积时高低温衬底温度实现调制掺杂，解决ZnO透明导电膜可见-红外光波段...
该专利属于景德镇陶瓷学院所有，仅供学习研究参考，未经过景德镇陶瓷学院授权不得商用。

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