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Co-Cr-Pt 系溅射靶及其制造方法技术
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文档序号:10480419
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一种溅射靶,含有0.5摩尔%~45摩尔%Cr、余量为Co作为金属成分,并含有包含Ti氧化物的2种以上氧化物作为非金属成分,其特征在于,其组织包含在Co中分散有至少包含Ti氧化物的氧化物的区域(非Cr系区域)和在Cr或Co-Cr中分散有Ti氧...
该专利属于吉坤日矿日石金属株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过吉坤日矿日石金属株式会社授权不得商用。
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