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本发明公开了一种深紫外激光产生与传输的装置，包括密封腔体、真空系统、深紫外激光产生系统和深紫外激光传输系统；所述深紫外激光产生系统和深紫外激光传输系统均位于所述密封腔体内。本发明所公开的深紫外激光产生与传输的装置具有良好的完备性、可行性和小...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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