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一种磁控溅射系统，属于溅射镀膜工艺。本实用新型包括真空箱体，旋转阴极，旋转阴极包括设置于旋转靶材内部的一根或两根磁棒；设置在真空箱体外侧的第一、第二真空泵和用于连接真空泵的第一、第二管道；设置在真空箱体内的第一、第二工艺气体隔离板；设置在真...
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