下载一种半导体抛光抗腐蚀剂的技术资料

文档序号:10472823

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本发明公开了一种半导体抛光抗腐蚀剂,其特征在于,包括下列重量份数的物质:脂肪醇聚氧乙烯9-15份,醚乙酸钠3-8份,烷基二甲基甜菜碱5-14份,二甲苯磺酸钠15-20份,锌粉6-8份,氧化铅1-2份,分散剂1-3份,增稠剂3-6份,阻燃剂4...
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