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一种涂覆装置，包括用于在涂层涂敷到整料衬底上时容纳各种形状和大小的整料衬底的模块化接口和衬底接收器。整料衬底由可弹性变形套管侧向围绕，该可弹性变形套管防止真空在真空施加到整料衬底的两相反端时从整料衬底侧漏出去，从而免除对庞大真空室的需要。涂...
该专利属于康宁股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过康宁股份有限公司授权不得商用。

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