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铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液及铁电薄膜的形成方法技术
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文档序号:10461554
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本发明提供一种铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液及铁电薄膜的形成方法。该铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液含有PZT系化合物、含聚乙烯吡咯烷酮的粘度调整用高分子化合物及含N-甲基吡咯烷酮的有机掺杂剂,含有以氧化物换算计为17质量%以上的PZT系化合物,聚乙...
该专利属于三菱综合材料株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱综合材料株式会社授权不得商用。
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