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本发明公开一种四纤毛仿生MEMS矢量水声传感器微结构，包括正方形框架和架设于所述正方形框架中央的“井”字形悬梁臂，所述“井”字形悬梁臂的各段梁由宽段和对称设置于所述宽段两侧的窄段组成，所述窄段上分别设置有阻值相等的压敏电阻，所述压敏电阻共形...
该专利属于苏州中盛纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州中盛纳米科技有限公司授权不得商用。

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