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本发明公开了一种接触式测头及一种表面高反薄板材厚度测量方法,接触式测头包括测头安装座、探针、方形空气导轨、激光位移传感器和光栅尺,所述测头安装座上固定有测头安装底板,所述测头安装底板上固定有方形空气导轨,所述方形空气导轨包括导芯和套在所述导...该专利属于昆山允可精密工业技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山允可精密工业技术有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种接触式测头及一种表面高反薄板材厚度测量方法,接触式测头包括测头安装座、探针、方形空气导轨、激光位移传感器和光栅尺,所述测头安装座上固定有测头安装底板,所述测头安装底板上固定有方形空气导轨,所述方形空气导轨包括导芯和套在所述导...