温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种OLED面光源专用的改进型ITO镀膜生产设备，它主要包括一真空腔体系统和一控制系统；所述的真空腔体系统由装卸片台、进出片室、镀膜室、缓冲室依次连通组成，所述装卸片台与进出片室、进出片室与工艺腔体的连接处均设有插板阀；所述的镀膜室由减反射...
该专利属于马恩高所有，仅供学习研究参考，未经过马恩高授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。