下载一种横向氧化锌纳米棒阵列发光二极管的技术资料

文档序号:10451366

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本发明公开了一种横向氧化锌纳米棒阵列发光二极管,包括自下而上依次设置的蓝宝石衬底(101)、二氧化硅绝缘层(102)、氮化镓缓冲层(103),所述氮化镓缓冲层(103)的矩形刻蚀槽一侧边上设置有p区电极(106),而与该侧边相对的另一侧边上...
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