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本发明提供一种玻璃基板的蚀刻方法及蚀刻浸泡装置,该玻璃基板的蚀刻方法包括如下步骤:步骤1.提供待蚀刻的玻璃基板(1)、刻蚀槽(3)、蚀刻药液及供给管路(7);步骤2.在刻蚀槽(3)内设置一浸泡槽(9);步骤3.所述供给管路(7)向浸泡槽(9...该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种玻璃基板的蚀刻方法及蚀刻浸泡装置,该玻璃基板的蚀刻方法包括如下步骤:步骤1.提供待蚀刻的玻璃基板(1)、刻蚀槽(3)、蚀刻药液及供给管路(7);步骤2.在刻蚀槽(3)内设置一浸泡槽(9);步骤3.所述供给管路(7)向浸泡槽(9...