下载一种氧化钛多层薄膜压敏电阻器及其制备方法的技术资料

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本发明涉及一种氧化钛多层薄膜压敏电阻器及其制备方法,属于电子信息材料制备及其应用技术领域。本发明采用非化学计量比的烧结TiOm作为基质靶材,其他金属或其氧化物为掺杂靶材,通过射频磁控溅射,在载气作用下,在表面平整光洁的导电基片上,制备得到以...
该专利属于中国地质大学(北京)所有,仅供学习研究参考,未经过中国地质大学(北京)授权不得商用。

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