下载用于布置在传感器元件的有效测量区域之前的功能元件的技术资料

文档序号:10445258

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本发明涉及用于布置在传感器元件(12)的有效探测区域(28)之前的功能元件(16),该功能元件具有紧凑的基体(18),所述基体具有气体侧的表面(20)和传感器侧的表面(22),其中在气体侧的表面(20)和传感器侧的表面(22)之间布置有至少...
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