下载一种气体循环装置的技术资料

文档序号:10444925

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本实用新型提供了一种与刻蚀液设备连接的气体循环系统,包括第一电-电渗析器、一洗涤器及一冷凝器,通过冷凝阶段、洗涤阶段及电渗析阶段能有效地处理刻蚀液再生过程中产生的有害气体。本实用新型的突出效果为:刻蚀液再生用电解槽结构简单、紧凑,能很好地为...
该专利属于陶克(苏州)机械设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过陶克(苏州)机械设备有限公司授权不得商用。

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