下载一种相变存储器材料用机械抛光液的技术资料

文档序号:10441105

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本发明公开了一种相变存储器材料用机械抛光液,其特征在于,包括下列重量份数的物质:表面活性剂5-9份,有机添加剂7-9份,调节剂1-3份,水性介质50-55份,纳米石墨粉1-2份,高岭土1-3份,季戊四醇1-5份,氰尿酸三聚氰胺盐2-3份,蒙...
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