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本发明涉及一种NOx传感器芯片，其主要特点为，包括第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片以及第六基片从上至下依次叠压，所述的第一基片上表面设有泵氧外电极，所述的第二基片中包含第一空腔、第二空腔、第三空腔和第四空腔，之间设有一定孔隙...
该专利属于东风电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东风电子科技股份有限公司授权不得商用。

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