下载一种具有光栅结构的边发射半导体激光器及制作方法的技术资料

文档序号:10440174

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本发明涉及一种具有光栅结构的边发射半导体激光器及制作方法,包括以下步骤:在砷化镓衬底上依次制备N型限制层、N型波导层、多量子阱有源区、P型波导层、P型限制层和P型欧姆接触层;在P型欧姆接触层的上表面光刻出脊形台面;在P型限制层的上方及两侧淀...
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