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一种利用黄皮纸研磨硅片的方法，包括硅片、夹具、黄皮纸和研磨装置，将黄皮纸加工成能嵌入在夹具底部的形状，将黄皮纸垫入夹具内底侧，再将硅片置于夹具中，即黄皮纸位于夹具的底侧和硅片之间，安装好之后便可采用研磨装置对硅片进行研磨；黄皮纸在研磨5~7...
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