下载电化学抛光装置和方法的技术资料

文档序号:10427768

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本发明公开了一种电化学抛光装置,包括:槽体;横向穿设于所述槽体的至少一电解槽,该电解槽于所述槽体的两端分别形成入口和出口,待抛光工件横向运动于所述电解槽内;位于所述电解槽两侧的电极,该电极形成的电场屏蔽于所述电解槽内;电解液供应管路,连通于...
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