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电化学抛光装置和方法制造方法及图纸
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文档序号:10427768
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本发明公开了一种电化学抛光装置,包括:槽体;横向穿设于所述槽体的至少一电解槽,该电解槽于所述槽体的两端分别形成入口和出口,待抛光工件横向运动于所述电解槽内;位于所述电解槽两侧的电极,该电极形成的电场屏蔽于所述电解槽内;电解液供应管路,连通于...
该专利属于苏州新材料研究所有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州新材料研究所有限公司授权不得商用。
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