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一种封装方法技术
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文档序号:10427369
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本发明公开了一种封装方法,采用两道研磨工序,并在第一道研磨工序后晶圆具有较厚的厚度,从而在划片时,以及在上片前的工序中具有更高的机械强度,不容易在这些工序中发生背崩。在第二道研磨工序中可以细磨,达到单颗晶粒的最终厚度,该最终厚度不在受划片等...
该专利属于山东华芯半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东华芯半导体有限公司授权不得商用。
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