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双缝干涉条纹解码光谱共焦位移传感器及其位移测量方法技术
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文档序号:10421190
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本发明涉及一种双缝干涉条纹解码光谱共焦位移传感器及其位移测量方法。目前光谱共焦位移传感器的光谱解析单元均采用光栅光谱仪,分光原理复杂,成本较高,探测波长会随着时间及环境发生漂移,影响到传感器的测量精度。本发明的传感器包括宽带点光源、无色差分...
该专利属于西安工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安工业大学授权不得商用。
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