下载一种CoCrPt系合金溅射靶材和薄膜及其制备方法的技术资料

文档序号:10412582

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本发明公开了一种CoCrPt系合金溅射靶材和薄膜及其制备方法,所述CoCrPt系合金溅射靶材包括B元素,B元素的含量为0~20个原子百分比,所述合金靶材包括富Co相和富B相两个物相,其中富B相均匀的分布在富Co相中,所述富Co相的平均晶粒尺...
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