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用于自由曲面形貌测量的光学自聚焦探头制造技术
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下载用于自由曲面形貌测量的光学自聚焦探头的技术资料
文档序号:10403706
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本发明公开了一种用于自由曲面形貌测量的光学自聚焦探头,包括线偏振激光源模块、物镜、分光器模块、自聚焦伺服模块、离焦量测量模块、角度测量模块和机架;本发明通过将一束能量呈高斯分布的线偏振激光聚焦到被测表面上,从反射光中提取被测表面的离焦量并以...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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