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本实用新型揭示了一种离子注入检测系统以及离子注入机，用于检测离子注入机的离子束，所述离子注入机包括扫描盘，所述扫描盘内包括至少一用于放置晶圆的晶圆区，所述离子注入检测系统包括：至少一将所述离子束转化为电流的法拉第杯，该法拉第杯位于所述离子注...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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