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用于确定掩模图案的方法及信息处理装置制造方法及图纸
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下载用于确定掩模图案的方法及信息处理装置的技术资料
文档序号:10373412
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一种用于确定掩模图案的方法、记录介质及信息处理装置。通过使用信息处理装置来确定多个掩模的图案的方法,包括:获取关于包含多个图案元素的图案的数据;将所获取的多个图案元素分配到掩模中,将所获取的多个图案元素分解为所述掩模的图案,并且基于掩模的数...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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