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下载静电吸附装置的技术资料

文档序号:10372648

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一种静电吸附装置,包括正静电片和负静电片,正静电片中设置有第一碳电极,负静电片中设置有第二碳电极。正静电片上设置有第一齿尖,负静电片上设置有第二齿尖,第一齿尖与第二齿尖相向设置。正静电片和负静电片构成空气通道,第一齿尖与第二齿尖位于空气通道...
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