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高速率、定向发射的单光子源器件制造技术
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文档序号:10369631
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本发明提供了一种高速率、定向发射的单光子源器件。包括:表面等离激元微腔结构,用于形成表面等离激元微腔;以及设置在表面等离激元微腔内单光子源;表面等离激元微腔结构包括一维金属纳米波导。通过将单光子源置于表面等离激元微腔内,由于表面等离激元微腔...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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