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本实用新型涉及一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置,包括一石英管,石英管输入端通过第一法兰连接有充气系统,石英管输出端通过法兰分别连接有气压调节器和真空系统,石英管外包围有分段加热装置,分段加热装置包括第一加热装置和第二加热装置,第...该专利属于厦门烯成新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门烯成新材料科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置,包括一石英管,石英管输入端通过第一法兰连接有充气系统,石英管输出端通过法兰分别连接有气压调节器和真空系统,石英管外包围有分段加热装置,分段加热装置包括第一加热装置和第二加热装置,第...