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本实用新型公开一种具有磁流体平动滑动推力轴承及密封结构的涡旋真空泵,磁流体密封装置包括永磁体和导磁体;永磁体置于活塞后支座的内部;导磁体置于推力板的内部,同时,导磁体与活塞后支座的径向端面之间的间隙内注有磁流液。使用本实用新型通过在真空泵的...该专利属于思科涡旋科技(杭州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过思科涡旋科技(杭州)有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种具有磁流体平动滑动推力轴承及密封结构的涡旋真空泵,磁流体密封装置包括永磁体和导磁体;永磁体置于活塞后支座的内部;导磁体置于推力板的内部,同时,导磁体与活塞后支座的径向端面之间的间隙内注有磁流液。使用本实用新型通过在真空泵的...