温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种测量单晶炉熔硅液面高度的装置与方法，属于半导体材料检测技术领域；其中，坩埚置于拉单晶炉体内部；在拉单晶炉体内部，坩埚上设有锥形隔热屏；所述拉单晶炉体顶部表面设有观察孔，用以激光入射和光电传感器采集图像；设置镜头光轴与激光条纹在硅液上的投...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。