下载一种基于规整性碳纳米管条纹阵列的铁电场效应晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:10367192

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本发明公开了一种基于规整性碳纳米管条纹阵列的铁电场效应晶体管及其制备方法。该晶体管单元结构为:底层为底电极层(1);中间层依次为铁电薄膜绝缘栅层(2)和规整性碳纳米管条纹阵列沟道层(3),规整性碳纳米管条纹阵列沟道层(3)上为顶层,顶层为晶...
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