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本实用新型揭示了一种可靠性测试结构，该测试结构包括衬底，所述衬底中包括有源区结构；栅极结构，所述栅极结构位于所述衬底上，并横跨于所述有源区结构之上，所述栅极结构与所述有源区结构呈十字排列。本实用新型的测试结构能节约晶圆的面积，减少测试次数。...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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