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本发明提出了制备多晶硅的系统和方法以及提纯三氯氢硅的方法和系统。其中，制备多晶硅的方法包括：(1)利用热水分别对氢气和三氯氢硅进行加热，以便得到经过冷却的热水和经过加热处理的氢气和三氯氢硅，(2)使经过加热处理的氢气和三氯氢硅在还原炉内发生...
该专利属于国电内蒙古晶阳能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国电内蒙古晶阳能源有限公司授权不得商用。

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