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一种去除数字微镜器件微镜抖动的装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:10363388
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本发明公开一种去除数字微镜器件微镜抖动的装置及方法,装置包括激光光源、DMD、第一CCD相机及第二CCD相机;激光光源发出光束照射在DMD表面,经由DMD表面的微镜反射后,于反射空间内出现一对互补像,该一对互补像的对应反射光束分别被第一CC...
该专利属于华侨大学所有,仅供学习研究参考,未经过华侨大学授权不得商用。
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