下载一种去除数字微镜器件微镜抖动的装置及方法的技术资料

文档序号:10363388

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本发明公开一种去除数字微镜器件微镜抖动的装置及方法,装置包括激光光源、DMD、第一CCD相机及第二CCD相机;激光光源发出光束照射在DMD表面,经由DMD表面的微镜反射后,于反射空间内出现一对互补像,该一对互补像的对应反射光束分别被第一CC...
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